Con le nuove versioni Multipeak, è ora possibile anche il rilevamento ad alta precisione di più strati trasparenti in un solo processo di misura. Sono disponibili due modelli di controllori per la misurazione della distanza multi-picco (IMS5x00-DS/MP) o dello spessore multistrato (IMS5400-TH/MP). Le due varianti di sistema si differenziano per il fatto che gli spessori degli strati sono calcolati dai rispettivi valori di distanza per i sistemi di distanza e misurati direttamente per il sistema di spessore. A seconda dell'applicazione, è possibile beneficiare di diversi vantaggi:

I sistemi per la misurazione della distanza a più picchi sono utilizzati in particolare per compiti di allineamento e posizionamento in cui è necessario misurare una distanza e determinare contemporaneamente uno spessore. In un ampio campo di misura di 2,1 mm, è possibile rilevare fino a 13 strati con spessori minimi fino a 10 µm (BK7). Per quanto riguarda la precisione, la misurazione viene effettuata da una distanza elevata, circa 19 mm. Grazie alla misura assoluta, il sistema non deve essere referenziato anche dopo un'interruzione del segnale, ad esempio nel caso di gradini o bordi.

I sistemi per la misurazione dello spessore multistrato sono sempre utilizzati quando sono richiesti valori di spessore indipendenti dalla distanza per un massimo di 5 strati. Nel campo di misura dello spessore di 2,1 mm, vengono misurati singoli strati fino a 35 µm (BK7) con stabilità di processo. Le fluttuazioni della distanza dell'oggetto misurato sono compensate dall'ampio campo di lavoro, in modo che le vibrazioni o altri movimenti del materiale non influiscano sulla misura. Un altro vantaggio dei sistemi di spessore è l'ampia distanza di base: le misure vengono effettuate fino a 70 mm di distanza dal target, il che garantisce la sicurezza del processo e protegge il sensore da eventuali danni.

Tutti i sistemi dispongono di un'interfaccia web moderna e intuitiva per una facile configurazione del sistema. Inoltre, le diverse interfacce (EtherCAT, Ethernet, PROFINET, EtherNet/IP, RS422, analogico) offrono numerose opzioni di integrazione. Per l'uso industriale, i sensori interferometrici sono dotati di un elevato grado di protezione IP65. Come opzione sono disponibili anche sistemi compatibili con il vuoto.

Vantaggi degli interferometri a luce bianca

• Risoluzione migliore della categoria <30 pm
• Linearità fino a ±10 nm per una precisione nanometrica
• Misure di spessore indipendenti dalla distanza
• Si possono misurare fino a 13 strati con spessori minimi fino a 10 µm
• Sistema robusto per risultati di misura stabili al processo
• Grande distanza dal bersaglio con un campo di misura di 2,1 mm
• Il laser pilota visualizza il punto di misura e fornisce un feedback ottico sulla posizione di misurazione