Aurion Anlagentechnik GmbH
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- DIN EN ISO 9001:2015
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01.10.2025 10:40
Sistemi cluster e in linea
Sistemi a cluster
AURION offre sistemi multi-camera con manipolazione del substrato sottovuoto su misura per le vostre esigenze. Le configurazioni disponibili includono camere di blocco del carico, camere di trasferimento e moduli di processo per processi sputter e RIE.
Sistemi in linea
AURION offre sistemi in linea (pass-by) con trasporto del substrato sottovuoto su misura per le vostre esigenze. Le configurazioni disponibili includono camere di blocco del carico, camere di pretrattamento e camere di sputtering. Sono disponibili layout verticali e orizzontali.
Categoria
Offerta
Stato
Germania