Con il sensore IMP-NIR-TH3/90/IP68, Micro-Epsilon amplia la sua gamma di interferoMETER con un sensore particolarmente robusto per la misurazione in linea dello spessore dei wafer di silicio e SiC. Il sensore ha un percorso del fascio di 90° e una distanza di lavoro ridotta di soli 3 mm, che lo rende ideale per applicazioni con spazio di installazione molto limitato.

Misura stabile nel processo di rettifica

Il sensore si rivela davvero efficace nei processi più impegnativi, come la rettifica di fanghi: La robusta custodia in acciaio inox IP68 consente l'utilizzo direttamente in macchina, anche in presenza di elevata umidità e contaminazione da particelle. La pulizia dell'ottica è particolarmente importante nei processi di rettifica e lappatura. Ciò è garantito dal dispositivo di spurgo dell'aria integrato, che mantiene l'ottica costantemente priva di particelle, consentendo così misure stabili.

guida del fascio a 90° per situazioni di installazione limitate

Una caratteristica fondamentale del sensore è il percorso del fascio a 90°, che ne consente l'integrazione anche in spazi di installazione molto ristretti. La distanza di lavoro di soli 3 mm e lo spot luminoso molto piccolo con un diametro di 15 µm creano la base per misure precise in linea direttamente nella macchina. Il sensore IMP-NIR-TH3/90/IP68 viene utilizzato con il controllore IMS5420 e rappresenta una soluzione compatta e affidabile per la misurazione di wafer altamente drogati, dove l'alta qualità del segnale è fondamentale.