Bronkhorst High-Tech BV

Misuratori di portata massica per gas sigillati in metallo

Misuratori di portata massica (MFM) Bronkhorst® modello F-111CM progettati appositamente per soddisfare i requisiti del mercato dei semiconduttori e di altre applicazioni con gas ad alta purezza. Gli strumenti sono caratterizzati da un'elevata qualità della superficie e sono di costruzione modulare con guarnizioni metallo-metallo che assicurano la tenuta a lungo termine. L'F-111CM è adatto per la misurazione precisa di intervalli di flusso tra 0,12...6 sccm fino a 1...50 slm (basato su N2) a pressioni operative tra il vuoto e 1500 psig (100 bar).

La serie EL-FLOW® Metal Sealed è dotata di una scheda digitale, che offre alta precisione, eccellente stabilità di temperatura e risposta veloce. La scheda digitale principale contiene tutte le funzioni generali necessarie per la misurazione e il controllo. Oltre all'uscita RS232 standard, gli strumenti offrono anche I/O analogici. Come opzione, un'interfaccia a bordo può essere montata per fornire i protocolli CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII o TCP/IP, EtherNet/IP o FLOW-BUS. Il design EL-FLOW® Metal Sealed presenta la funzionalità opzionale Multi Gas / Multi Range, fornendo ai clienti (OEM) una flessibilità e un'efficienza di processo ottimali.