Bronkhorst High-Tech BV

Misuratori di portata massica per gas a tenuta metallica

I misuratori di portata massica (MFM) Bronkhorst® modello F-111CM sono stati progettati appositamente per soddisfare i requisiti del mercato dei semiconduttori e di altre applicazioni di gas ad alta purezza. Gli strumenti sono caratterizzati da un'elevata qualità superficiale e da una costruzione modulare con guarnizioni metallo-metallo che assicurano una tenuta a lungo termine. L'F-111CM è adatto alla misura precisa di portate comprese tra 0,12 e 6 sccm fino a 1 e 50 slm (basate su N2) a pressioni operative comprese tra il vuoto e 1500 psig (100 bar).

La serie EL-FLOW® Metal Sealed è dotata di una scheda elettronica digitale che offre un'elevata precisione, un'eccellente stabilità in temperatura e una risposta rapida. La scheda PC digitale principale contiene tutte le funzioni generali necessarie per la misurazione e il controllo. Oltre all'uscita RS232 standard, gli strumenti offrono anche I/O analogici. Come opzione, è possibile montare un'interfaccia a bordo per fornire i protocolli CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII o TCP/IP, EtherNet/IP o FLOW-BUS. Il design a tenuta metallica di EL-FLOW® è dotato della funzionalità opzionale Multi Gas / Multi Range, che offre ai clienti (OEM) una flessibilità e un'efficienza di processo ottimali.