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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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23.08.2023 01:08

Rilevamento preciso dell'intaglio sul wafer di vetro

Per produrre chip semiconduttori di alta qualità, sono necessarie tecniche di allineamento e posizionamento precise nella produzione di wafer di vetro. Una fase cruciale di questo processo è il rilevamento delle tacche, che consente di registrare con precisione le posizioni delle tacche sul wafer. Queste tacche servono come punti di riferimento per le successive fasi di lavorazione e manipolazione.

optoCONTROL I sensori in fibra ottica CLS1000 sono utilizzati per il rilevamento preciso delle tacche. Questi sensori all'avanguardia rilevano l'esatta posizione delle tacche sul wafer di vetro e consentono quindi un allineamento estremamente affidabile. I sensori CLS1000 convincono per l'elevata risoluzione e precisione nella misurazione di posizioni e distanze. Sono inoltre caratterizzati da un design compatto, una facile integrazione e un'elevata affidabilità. Grazie alle loro prestazioni, sono un supporto essenziale per la produzione di chip semiconduttori su wafer di vetro.

Vantaggi in sintesi

Alta risoluzione e accuratezza per un rilevamento preciso della posizione
Tempo di risposta rapido fino a 10 kHz e tempo di risposta di 100µs
Facile integrazione anche in sistemi esistenti
Teste di sensore adatte al vuoto

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