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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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22.09.2023 01:09

Nuovo interferometro per la misurazione dello spessore dei wafer ad alta precisione

L'interferometro a luce bianca IMS5420-TH apre nuove prospettive nella misurazione industriale dello spessore dei wafer di silicio monocristallino. Grazie al diodo superluminescente a banda larga (SLED), l'IMS5420-TH può essere utilizzato per wafer SI non drogati, drogati e altamente drogati. L'intervallo di misurazione dello spessore va da 0,05 a 1,05 mm.

Lo

spessore misurabile delle intercapedini d'aria arriva fino a 4 mm. La

produzione di wafer di semiconduttori dipende dalla massima precisione. Una fase importante del processo è la lappatura dei grezzi, che vengono così portati a uno spessore uniforme. Gli interferometri a luce bianca della serie interferoMETER IMS5420 sono stati sviluppati per il controllo continuo dello spessore.

Ognuno di questi è composto da un sensore compatto e da un controllore, alloggiato in una robusta custodia industriale. Un controllo attivo della temperatura integrato nel controllore garantisce un'elevata stabilità della misura.

L'interferometro è disponibile sia come sistema di misura dello spessore che come sistema di misura dello spessore multi-picco. Il sistema di misurazione dello spessore multipeak può misurare lo spessore di un massimo di cinque strati, ad esempio lo spessore del wafer, il traferro, il foiling e i rivestimenti >50 µm. Per le misure di spessore in condizioni ambientali difficili, il controllore IMS5420IP67 è disponibile con alloggiamento IP67 e in acciaio inossidabile, nonché con fibre ottiche e sensori adatti.


Vantaggi in sintesi
  • Misura dello spessore con precisione nanometrica di wafer non drogati, drogati e altamente drogati
  • Multi-picco: rilevamento di fino a 5 strati con uno spessore SI di 0,05 fino a 1,05 mm
  • Alta risoluzione sull'asse z di 1 nm
  • Velocità di misura fino a 6 kHz per misure veloci
  • Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
  • Semplice parametrizzazione tramite interfaccia web

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