Interferometro assoluto: Nuovi sensori a vuoto con percorso del fascio a 90°

Gli interferometri assoluti interferoMETER 5400-DS e 5600-DS sono utilizzati per la misurazione della distanza con precisione nanometrica. Il gruppo di prodotti è stato ora ampliato con nuovi sensori con un'ampia distanza di base di 10 mm. Questi sono progettati per applicazioni di alta precisione in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio per misurazioni su wafer rivestiti.

Una versione UHV in titanio non magnetico consente anche l'uso in forti campi magnetici, come quelli presenti nella tecnologia medica nei microscopi nucleari a spin o a fascio di elettroni. Il design con un percorso del fascio a 90° riduce notevolmente la profondità dello spazio di installazione richiesto. A seconda della scelta del controllore, sono possibili linearità di < ±50 nm o < ±10 nm. Gli innovativi interferometri assoluti dispongono di ampie opzioni di connessione per un'integrazione ottimale in vari sistemi di controllo e programmi di produzione. Comprendono interfacce digitali come Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET ed EtherNet/IP, nonché un'uscita analogica. L'intera configurazione del controllore e dei suoi sensori viene eseguita come di consueto tramite l'interfaccia web, senza software aggiuntivo.

Altre notizie

26.06.2025 05:05

Ancora più performante: il nuovo sensore di distanza laser optoNCDT ILR3800

Il sensore di distanza laser optoNCDT ILR3800-100 di Micro-Epsilon offre precisione, stabilità de...

18.06.2025 10:50

Dall'industria all'high-tech: sensori laser per tutti i casi

Con i sensori laser optoNCDT, Micro-Epsilon offre un ampio portafog...

07.06.2025 01:05

Micrometro ad alte prestazioni con un campo di misura più ampio

Il nuovo micrometro optoCONTROL 2700-10 offre la massima precisione per il controllo qualit&agrav...

28.05.2025 05:25

Nuova classe di precisione per i sensori di spostamento laser: optoNCDT 5500

Con il nuovo optoNCDT 5500, Micro-Epsilon presenta una nuova generazione di sensori di spostament...

25.05.2025 01:05

Venite a trovarci al sito all abaout automation

Venite a trovarci:

tutto sull'automazione ad Amburgo, dal 03 al 0...

14.05.2025 01:05

Produzione di batterie: test 3D in linea dei morsetti

MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

Interferometro assoluto: Nuovi sensori a vuoto con percorso del fascio a 90°

Altre notizie

Il sensore istantaneo 3D di SurfaceCONTROL viene utilizzato per il test di complanarit&a...