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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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07.07.2024 01:07

Interferometro assoluto: Nuovi sensori a vuoto con percorso del fascio a 90°

Gli interferometri assoluti interferoMETER 5400-DS e 5600-DS sono utilizzati per la misurazione della distanza con precisione nanometrica. Il gruppo di prodotti è stato ora ampliato con nuovi sensori con un'ampia distanza di base di 10 mm. Questi sono progettati per applicazioni di alta precisione in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio per misurazioni su wafer rivestiti.

Una versione UHV in titanio non magnetico consente anche l'uso in forti campi magnetici, come quelli presenti nella tecnologia medica nei microscopi nucleari a spin o a fascio di elettroni. Il design con un percorso del fascio a 90° riduce notevolmente la profondità dello spazio di installazione richiesto. A seconda della scelta del controllore, sono possibili linearità di < ±50 nm o < ±10 nm. Gli innovativi interferometri assoluti dispongono di ampie opzioni di connessione per un'integrazione ottimale in vari sistemi di controllo e programmi di produzione. Comprendono interfacce digitali come Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET ed EtherNet/IP, nonché un'uscita analogica. L'intera configurazione del controllore e dei suoi sensori viene eseguita come di consueto tramite l'interfaccia web, senza software aggiuntivo.

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