Gli interferometri assoluti Micro-Epsilon stabiliscono nuovi standard nella misurazione della distanza ad alta precisione. Il nuovo sensore miniaturizzato IMP-DS10/90/VAC è progettato per l'uso nel vuoto e consente un'integrazione salvaspazio grazie al suo percorso del raggio di 90 gradi. Il sensore è compatibile con i controllori interferoMETER IMS5400 o IMS5600.

Gli interferometri assoluti interferoMETER 5400-DS e 5600-DS sono utilizzati per la misura di distanze con precisione nanometrica. Il gruppo di prodotti è stato ora ampliato con nuovi sensori con un'ampia distanza di base di 10 mm. Questi sono progettati per applicazioni di alta precisione in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio per misurazioni su wafer rivestiti. Una versione UHV in titanio non magnetico consente anche l'uso in forti campi magnetici, come quelli presenti nella tecnologia medica nei microscopi nucleari a spin o a fascio di elettroni.

Il design del percorso del fascio a 90° riduce notevolmente la profondità di installazione richiesta. A seconda della scelta del controllore, sono possibili linearità di < ±50 nm o < ±10 nm. Gli innovativi interferometri assoluti dispongono di ampie opzioni di connessione per un'integrazione ottimale in vari sistemi di controllo e programmi di produzione. Comprendono interfacce digitali come Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET ed EtherNet/IP, nonché un'uscita analogica. L'intera configurazione del controllore e dei suoi sensori viene eseguita come di consueto tramite l'interfaccia web, senza software aggiuntivo.